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返回 發(fā)布日期: 2025.08.22
在潔凈室環(huán)境中,無塵布的等級選擇需與潔凈室級別嚴(yán)格匹配,以避免污染物超標(biāo)。
百級潔凈室對微粒控制要求極高,每立方英尺大于等于 0.5μm 的微粒數(shù)需≤100 個(gè),應(yīng)選用Class 10 級無塵布。這類無塵布通常采用連續(xù)長絲聚酯纖維織造,經(jīng) 18MΩ 超純水清洗及激光封邊處理,單擦拭面微粒脫落量≤10 個(gè) /ft2(0.5μm 以上),且不含硅、胺等污染物,適用于半導(dǎo)體晶圓、光刻膠涂布等高精度場景。
千級潔凈室(微粒限值≤1000 個(gè) /ft2)可選用Class 100 級無塵布。其多為聚酯 / 尼龍混紡材質(zhì),經(jīng)超聲波封邊,微粒脫落量控制在 50 個(gè) /ft2 以內(nèi),纖維密度達(dá) 300 根 / 英寸以上,能滿足 LCD 面板裝配、光學(xué)鏡片擦拭等需求。
萬級潔凈室(微粒限值≤10000 個(gè) /ft2)適配Class 1000 級無塵布。該等級無塵布采用短纖維織造,經(jīng)普通純水清洗,微粒脫落量≤100 個(gè) /ft2,成本相對較低,適用于醫(yī)療器械組裝、電子元件初加工等場景。
選擇時(shí)還需結(jié)合擦拭對象的敏感度,必要時(shí)通過 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)測試驗(yàn)證兼容性。